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一种基于纳米粒子单层阵列的光刻掩膜制造方法技术
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文档序号:38826825
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一种基于纳米粒子阵列的光刻掩膜的制造方法,利用喷墨打印可控的水滴阵列,在水滴阵列表面分别对准喷打所需不同直径纳米粒子阵列,纳米粒子分散液与水滴不互溶,在水滴表面上形成纳米粒子单层膜,加热干燥后形成纳米粒子单层阵列,然后将纳米粒子单层阵列转移...
该专利属于西安电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安电子科技大学授权不得商用。
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