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一种负锥度微结构快速制造的激光加工系统和方法技术方案
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文档序号:38826145
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一种负锥度微结构快速制造的激光加工系统和方法,包括激光发生器、扩束镜、动态偏转扫描模块、平移模块、移动平台和协同控制模块;所述动态偏转扫描模块将从所述扩束镜输出的光线进行偏转和焦点移动;所述平移模块将从所述动态偏转扫描模块输出的光线进行平移...
该专利属于厦门大学所有,仅供学习研究参考,未经过厦门大学授权不得商用。
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