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本发明提供了一种带有偏压引线的样品台组件及MPCVD系统，属于微波等离子体技术领域。上述带有偏压引线的样品台组件包括台板、底座、基片台及支撑筒；台板与底座连接，基片台设置在台板上，并与台板绝缘连接，支撑筒的端部与底座连接。台板内部设置有引出...
该专利属于成都沃特塞恩电子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都沃特塞恩电子技术有限公司授权不得商用。

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