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双折射测定装置以及双折射测定方法制造方法及图纸
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文档序号:3882400
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本发明提供一种双折射测定装置以及方法,其对具有细微构造的薄膜的细微区域的双折射特性高精度地进行面测定。来自光源(11)的光经由准直器(15)、第一线偏振片(16)、第一λ/4波长板(17)、彩色滤光片(100)、第二λ/4波长板(21)、第...
该专利属于富士胶片株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士胶片株式会社授权不得商用。
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