下载一种基于高功率脉冲磁控溅射技术的CrN/Cr2O3多层涂层及其制备方法的技术资料

文档序号:38810565

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本发明公开一种CrN/Cr2O3涂层的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、溅射CrN过渡层:将离子清洗后的基体停留在Cr靶之前,通过功率15kW的脉冲反应溅射获得CrN过渡层,得到溅射CrN过渡层的基体;S2、制备CrN/Cr2O3结...
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