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一种具有铁电薄膜和金属嵌入层的无掺杂隧穿晶体管制造技术
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下载一种具有铁电薄膜和金属嵌入层的无掺杂隧穿晶体管的技术资料
文档序号:38807999
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本实用新型涉及半导体技术领域,具体提供一种具有铁电薄膜和金属嵌入层的无掺杂隧穿晶体管,包括:源极、漏极、栅极、栅介质层、源区、漏区、沟道区、金属嵌入层和铁电薄膜层;在栅介质层中插入Pt金属嵌入层,使得在其下的体材料中形成一个P
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该专利属于兰州交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过兰州交通大学授权不得商用。
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