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半导体器件和生产用于半导体部件衬底的方法及铟在其生产中的用途技术
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文档序号:38772175
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本发明涉及一种半导体器件(300),其具有衬底(310)和基于砷化镓铝的半导体部件(320),其中该衬底(310)是单晶的,且该衬底(310)包括具有经验式Ga
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该专利属于业纳光学系统有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过业纳光学系统有限公司授权不得商用。
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