下载一种微米级光学狭缝多轴调节装置的技术资料

文档序号:38769938

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本发明公开了一种微米级光学狭缝多轴调节装置,包括轴向位移调节装置、光学狭缝和角度旋转装置;所述轴向位移调节装置的中部设有轴向调节组件,所述轴向调节组件的中部设有用于光路通过的通孔,所述轴向调节组件的前端连接所述光学狭缝;所述轴向位移调节装置...
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