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本发明涉及一种基于微机电系统的SiC基半导体气体传感器，包括依次堆叠的如下部分：基体，构造有空腔；加热层，具有与空腔重叠的加热丝；介电层，具有与加热丝重叠的有源区；检测层，具有与有源区重叠的感应区域；以及气敏层，部分覆盖感应区域，包含气敏材...
该专利属于艾感科技（广东）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过艾感科技（广东）有限公司授权不得商用。

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