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太阳能级多晶硅提纯装置与提纯方法制造方法及图纸
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文档序号:3875881
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太阳能级多晶硅提纯装置与提纯方法,涉及一种多晶硅的提纯方法。提供一种太阳能级多晶硅提纯装置与提纯方法。提纯装置设有主体保温层、感应加热线圈、石墨加热套筒、石墨固定盘、下层保温层、定向升降装置、循环水进出水口、石墨底盘、坩埚、SiN涂层和热电...
该专利属于厦门大学所有,仅供学习研究参考,未经过厦门大学授权不得商用。
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