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大口径平面光学元件的快速抛光横移式加工方法技术
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文档序号:3875744
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大口径平面光学元件的快速抛光横移式加工方法,涉及一种大口径平面光学元件。提供一种大口径平面光学元件的快速抛光横移式加工方法。采用数控抛光机床,设有抛光盘、抛光垫、真空薄膜、工件旋转轴、修整轮、修整轮轴和工作横移轴。选择加工方式,设定加工参数...
该专利属于厦门大学所有,仅供学习研究参考,未经过厦门大学授权不得商用。
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