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本发明提供能够利用一个原料供给系统实现多个原料的供给的技术。提供能够将多个原料供给至处理室的构成，该构成具备：第1气体供给管线，其构成为能够利用流量控制器对利用第1原料生成的第1前驱体气体进行流量控制，并供给至所述处理室；以及第2气体供给管...
该专利属于株式会社国际电气所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社国际电气授权不得商用。

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