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本发明公开了一种微晶粒加工设备，适于对透明载板上的多个微晶粒进行加工。此微晶粒加工设备包括移动式载台、光学修整模块、光罩微缩投影扫描光学模块、摄影装置及控制单元，其中光罩微缩投影扫描光学模块包括移动式光罩及扫描振镜模块。移动式载台适于承载透...
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