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一种衍射光学元件的光栅的主模板(20)的制造方法。材料(200)的层(250)通过板(202)的穿孔(204)沉积在主模板(180)的基板(108)上，穿孔(204)的横截面积取决于板(202)中的穿孔(204)的位置，并且板(202)和基...
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