下载一种耐辐照高温高压热式流量传感器及其制备方法的技术资料

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一种耐辐照高温高压热式流量传感器及其制备方法,涉及传感器技术领域。本发明的目的是为了解决传统热式流量传感器的制备工艺存在精度低、误差大,工艺制备过程复杂、成本较高及生产周期较长的问题。本发明基于陶瓷共烧工艺技术,主要工艺过程包括冲孔工艺、丝...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十九研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第四十九研究所授权不得商用。

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