温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种基于神经网络的外差干涉椭偏测量非线性误差补偿方法，其包括以下步骤：Ａ．提供一系列不同厚度的薄膜样品并采用外差干涉椭偏测量系统测量薄膜样品；Ｂ．将以上获得的椭偏参数实验数据、测量时的环境温度和入射光束的偏振态畸变、以及椭偏参数理...
该专利属于深圳大学所有，仅供学习研究参考，未经过深圳大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。