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本发明提供一种换热介质回收系统和回收方法，属于半导体晶圆加工设备领域和制冷技术领域，系统包括分离单元、冷却单元、加热单元、回收单元和温控单元，分离单元的输入端通过管道与待回收管路的输出端连通，加热单元的输出端通过管道与待回收管路的输入端连接...
该专利属于北京京仪自动化装备技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京京仪自动化装备技术股份有限公司授权不得商用。

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