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本发明公开了半导体器件及制作方法,包括:衬底,包括存储区与周边区;多个存储节点焊盘,设置在所述衬底上并位在所述存储区内;设置在所述存储节点焊盘上的电容结构,包括多个分别与所述存储节点焊盘接触的底电极;以及设置在所述存储节点焊盘上的支撑结构,...该专利属于福建省晋华集成电路有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过福建省晋华集成电路有限公司授权不得商用。
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本发明公开了半导体器件及制作方法,包括:衬底,包括存储区与周边区;多个存储节点焊盘,设置在所述衬底上并位在所述存储区内;设置在所述存储节点焊盘上的电容结构,包括多个分别与所述存储节点焊盘接触的底电极;以及设置在所述存储节点焊盘上的支撑结构,...