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本发明涉及精密仪器和半导体制造设备技术领域，具体涉及一种面向ATE弹簧探针预组装的闸门结构；该面向ATE弹簧探针预组装的闸门结构从上到下依次包括上转盘、上闸门固定盘、中转盘、下闸门固定盘、下固定盘和总闸门转盘；所述上转盘和中转盘沿依次设置有...
该专利属于苏州迪克微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州迪克微电子有限公司授权不得商用。

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