下载一种集成补偿元的阵列型红外传感器的技术资料

文档序号:38647801

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本实用新型提供一种集成补偿元的阵列型红外传感器,其包括衬底,以及设置在衬底上的N个敏感元和补偿元,每个所述敏感元均包括薄膜层Ⅰ和钝化层,所述补偿元包括薄膜层Ⅱ和遮光层;所述补偿元的一侧,通过电级线Ⅰ分别连接各个敏感元的一侧;所述补偿元的另一...
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