温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请提供一种适用于不同尺寸晶圆的加热器的更换结构，所述陶瓷加热器制为分体结构，所述分体结构包括固定结构和可更换结构，所述固定结构为加热部件，所述可更换结构为晶圆承载件，根据不同尺寸的晶圆，更换所述晶圆承载件，在所述加热部件和所述晶圆承载件...
该专利属于苏州珂玛材料科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州珂玛材料科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。