下载硅片包装设备和硅片包装系统的技术资料

文档序号:38643378

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本发明公开了一种硅片包装设备和硅片包装系统,所述硅片包装设备包括机架、转盘和束带装置,所述转盘包括转盘本体和设置在所述转盘本体上的至少一个承托组件;所述转盘本体可转动地设置在所述机架上,以便所述承托组件在用于放置第一防护层的第一放料位、用于...
该专利属于杭州中为光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州中为光电技术有限公司授权不得商用。

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