下载掺氮的定向凝固铸造多晶硅及其制备方法的技术资料

文档序号:3863191

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本发明公开了一种掺氮的定向凝固铸造多晶硅及其制备方法,利用便宜的氮气取代昂贵的氩气作为保护气体,实现低成本定向凝固铸造多晶硅;同时,由于在氮气气氛下进行融硅和铸造,实现在多晶硅中掺入氮,得到掺氮铸造多晶硅,提高了铸造多晶硅的机械强度,用于太...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。

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