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本发明涉及一种快速聚焦扫描偏转装置、扫描电子显微镜，该快速聚焦扫描偏转装置包括：第一电磁透镜，用于对入射电子束进行聚焦；样品台，用于放置待测样品；第一电极，位于第一电磁透镜与样品台之间，第一电极包括与第一电磁透镜同轴的第一电极孔；控制组件，...
该专利属于北京惠然肯来科技中心（有限合伙）所有，仅供学习研究参考，未经过北京惠然肯来科技中心（有限合伙）授权不得商用。

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