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本实用新型公开了半导体制造领域内的一种防晶圆污染显微镜挡板，包括显微镜，显微镜包括底座，底座上设置有机体，机体上部设置有顶盖，所述机体包括水平的上壳体和下壳体，上壳体和下壳体后部之间竖直设置有连接壳体，所述底座上位于机体前方设置有放置晶圆的...
该专利属于江苏汇成光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏汇成光电有限公司授权不得商用。

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