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一种原子力显微镜探针固定结构制造技术
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下载一种原子力显微镜探针固定结构的技术资料
文档序号:38619900
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本实用新型提供了一种原子力显微镜探针固定结构,包括探针组件、定位块、探针座、探针压片,探针压片能够在压合部与所述探针组件间设置有间隙的第一状态,和压合部将所述探针组件向所述探针座一侧压合的第二状态之间切换,结合第一面、第二面和定位槽的特定形...
该专利属于北京航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京航空航天大学授权不得商用。
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