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晶圆盒闩锁机构及晶圆盒制造技术
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文档序号:38619237
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本申请公开了一种晶圆盒闩锁机构及晶圆盒,涉及晶圆盒技术领域,晶圆盒闩锁机构设置于门体内用以将门体锁固于盒体,晶圆盒闩锁机构包括转动件、连接件及闩锁件,转动件铰接于门体;连接件的第一端铰接于转动件,转动件的铰接处与连接件的第一端的铰接处间隔设...
该专利属于芜湖鑫跃微半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过芜湖鑫跃微半导体有限公司授权不得商用。
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