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根据本发明的一个实施例是包括隔膜布置的静电微型泵，隔膜布置包括隔膜和第一电极结构。静电微型泵还包括阀布置，阀布置包括入口止回阀和出口止回阀，其中隔膜布置和阀布置至少部分地封住泵室。静电微型泵还包括第二电极结构，其被布置成与第一电极结构形成静...
该专利属于弗劳恩霍夫应用研究促进协会所有，仅供学习研究参考，未经过弗劳恩霍夫应用研究促进协会授权不得商用。

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