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本发明公开了可控型喷雾液滴高效冷却换热实验平台，包括液滴发生装置，多组压电式液滴发生器可实现液滴串阵列；位于压电式液滴发生器工艺下游端的薄膜加热器，薄膜加热器采用磁控溅射工艺制备，所述薄膜加热器以500μm后的双抛硅片为基材，并在基材上以磁...
该专利属于北京航空航天大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京航空航天大学授权不得商用。

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