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本发明公开了光刻模板技术领域的新型光刻膜板的制备方法，包括如下步骤：步骤1，利用AutoCAD绘制图案；步骤2，以石英玻璃片为基底，清洗干净石英玻璃片待用；步骤3，将纳米颗粒通过3D打印或喷墨打印在石英玻璃片上绘制步骤1的图案；步骤4，通过...
该专利属于西华大学所有，仅供学习研究参考，未经过西华大学授权不得商用。

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