下载一种复合型相位掩模板的技术资料

文档序号:3860387

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本发明公开了一种复合型相位掩模板,复合型相位掩模板的相位分布函数包含正弦型和三次方型两种函数,相位分布函数θ(x,y)的函数式如下:θ(x,y)=α.(x↑[3]+y↑[3])+β.(sin(ω.x)+sin(ω.y)),式中,β.(sin...
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