专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
浙江大学
>
一种复合型相位掩模板制造技术
>技术资料下载
下载一种复合型相位掩模板的技术资料
文档序号:3860387
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种复合型相位掩模板,复合型相位掩模板的相位分布函数包含正弦型和三次方型两种函数,相位分布函数θ(x,y)的函数式如下:θ(x,y)=α.(x↑[3]+y↑[3])+β.(sin(ω.x)+sin(ω.y)),式中,β.(sin...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。