下载一种多MEMS振镜的大角度投影方法、系统及介质的技术资料

文档序号:38596063

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本发明公开了一种多MEMS振镜的大角度投影方法、系统及介质,将高速光电转换器放置于相邻所述投射单元之间的位置;驱动振镜振动,驱动激光器发射点激光;将激光器发射的点激光依次经过准直透镜、一字线棱镜后入射至振镜表面,经振镜反射到扫描物表面,形成...
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