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本发明提供波导矩阵薄膜铌酸锂电光调制器，属于光电集成器件领域，包括由下至上层叠的体铌酸锂衬底和多个波导层，各波导层均包括由下至上层叠的二氧化硅缓冲层、铌酸锂薄膜、至少一个光波导、行波电极、刻蚀后二氧化硅缓冲层和电磁屏蔽层，各波导层的所有光波...
该专利属于福建玻尔光电科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建玻尔光电科技有限责任公司授权不得商用。

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