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本发明属于放电装置领域，公开了一种振荡调控式复合等离子体放电装置，滤膜固定于腔壁外壳的最上端，风扇位于滤膜的垂直正下方，均匀对称分布，放电模块Ⅰ位于风扇的垂直正下方，放电模块Ⅰ与风扇之间有一定的间隙，放电模块Ⅱ位于放电模块Ⅰ的垂直正下方，振...
该专利属于大连民族大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连民族大学授权不得商用。

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