下载一种用微波等离子体化学气相沉积制备的碳化钛及其制备方法的技术资料

文档序号:38577029

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本发明公开了一种用微波等离子体化学气相沉积制备的碳化钛及其制备方法,属于功能二维材料表面工程技术领域。所述碳化钛以双导铜箔和钛箔为衬底。具体方法为:先将沉积基底进行表面预处理,然后将其置于基片台的中心的凹槽处,再将钼钛放于接有冷水管的载物台...
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