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本发明的一种曲线模式分段的半导体制造无监督异常检测方法及设备，包括以下步骤，首先采用信号处理技术对传感器曲线进行模式分割，之后针对不同的曲线模式提取不同的统计特征；最后构建基于密度的局部异常因子检测的无监督机器学习分类模型，实现精准的异常检...
该专利属于合肥喆塔科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥喆塔科技有限公司授权不得商用。

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