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一种弯曲波导阵列结构光学芯片及其制备方法技术
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文档序号:38562970
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本发明公开了一种弯曲波导阵列结构光学芯片及其制备方法,应用于光学芯片技术领域:波导阵列结构和基片;所述基片上制备出所述波导阵列结构;所述波导阵列结构为多条平行的复合弯曲轨迹,所述复合弯曲轨迹为若干周期弯曲组成的圆弧弯曲,通过改变复合弯曲轨迹...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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