下载一种固相合成碳化硅的装料方法及合成方法的技术资料

文档序号:38560320

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本发明属于碳化硅单晶生产技术领域,具体涉及一种固相合成碳化硅的装料方法及合成方法。装料方法包括:向固相合成所用的坩埚的底部铺设碳化硅多晶块层,所述碳化硅多晶块层的硅的物质的量与碳的物质的量的比值大于1;向所述碳化硅多晶块层的上方铺设碳硅粉末...
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