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一种固相合成碳化硅的装料方法及合成方法技术
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文档序号:38560320
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本发明属于碳化硅单晶生产技术领域,具体涉及一种固相合成碳化硅的装料方法及合成方法。装料方法包括:向固相合成所用的坩埚的底部铺设碳化硅多晶块层,所述碳化硅多晶块层的硅的物质的量与碳的物质的量的比值大于1;向所述碳化硅多晶块层的上方铺设碳硅粉末...
该专利属于苏州优晶光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州优晶光电科技有限公司授权不得商用。
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