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本发明涉及一种用于在真空室内传送基板的基板传送机器人，其特征在于，包括：传送臂平台，其形成有位于第1中央区域的第1结合孔、位于第1一前端区域的第2结合孔以及位于第1另一前端区域的第3结合孔，在前方区域固定结合有第1连杆连接件，在对应于所述前...
该专利属于株式会社T-ROBOTICS所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社T-ROBOTICS授权不得商用。

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