下载分束器组件、用于确定分束器组件的尺寸的方法和显微镜的技术资料

文档序号:38556830

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本发明涉及分束器组件、用于确定分束器组件的尺寸的方法和显微镜,用于布置在显微镜的光路的非准直部分内的分束器组件具有朝着光轴倾斜了倾斜角的第一板,和朝着光轴倾斜了倾斜角的第二板,其中,第一板和/或第二板用于辐射的耦入和/或耦出。根据本发明的分...
该专利属于卡尔蔡司显微镜有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过卡尔蔡司显微镜有限责任公司授权不得商用。

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