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本申请提供了缺陷检测数据处理方法、电子设备、存储介质及程序产品，用于对多个批次的产品的缺陷检测数据进行处理，所述产品是半导体产品，所述方法包括：获取多个批次的产品的工艺数据和缺陷检测数据，所述工艺数据包括用于制造所述产品的多个工序和每个工序...
该专利属于江苏第三代半导体研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏第三代半导体研究院有限公司授权不得商用。

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