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电子级多晶硅破碎方法技术
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文档序号:38547992
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本发明公开了电子级多晶硅破碎方法。电子级多晶硅破碎方法包括:将多晶硅棒切割为多个多晶硅段,所述多晶硅段的长度为10cm
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该专利属于江苏鑫华半导体科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏鑫华半导体科技股份有限公司授权不得商用。
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