下载一种六自由度误差修正的三维运动测量系统及测量方法的技术资料

文档序号:38547672

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本发明公开了一种六自由度误差修正的三维运动测量系统及测量方法,包括光学气浮平台、六自由度误差修正的三维运动测量系统、二维运动机台、基准光学平晶、彩色共聚焦测量桥组件、相机测量桥组件以及薄膜干涉组件;本发明中的相机测量桥架模块采集所述像栅传感...
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