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本申请公开了一种沟槽型半导体功率器件及版图,包括:第一掺杂类型的衬底;第一掺杂类型的外延层,位于衬底第一表面;源沟槽结构,位于外延层内部,为圆环形;栅沟槽结构,位于外延层内部,为圆环形,源沟槽结构和栅沟槽结构相互分离且交替排列;桥沟槽结构,...该专利属于杭州芯迈半导体技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州芯迈半导体技术有限公司授权不得商用。
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