下载一种沟槽型半导体功率器件及版图的技术资料

文档序号:38544730

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本申请公开了一种沟槽型半导体功率器件及版图,包括:第一掺杂类型的衬底;第一掺杂类型的外延层,位于衬底第一表面;源沟槽结构,位于外延层内部,为圆环形;栅沟槽结构,位于外延层内部,为圆环形,源沟槽结构和栅沟槽结构相互分离且交替排列;桥沟槽结构,...
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