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一种具有对称结构的微机械差分电容加速度计，通过锚合区域ａｎｃｈｏｒ从上、下两个方向和可动硅结构组件连接。硅结构组件的弹性支撑梁分上、下两层分布在可动质量块、固支框架之间，连接可动质量块和固支框架，梁和可动质量块以及固支框架的连接处采用圆角过...
该专利属于北京大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京大学授权不得商用。

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