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本申请涉及一种切割装置和切割方法。切割装置包括底座、设于底座上用于出射激光束的激光光源、设于底座上的衍射光学元件以及光束调节组件,衍射光学元件被配置为能够将激光束分离形成沿激光束的传播路径依次间隔排列的多个聚焦光斑,光束调节组件,设于底座上...该专利属于海目星激光科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过海目星激光科技集团股份有限公司授权不得商用。
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