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降低硅晶体炉热损失的方法、热场结构及硅晶体炉技术
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下载降低硅晶体炉热损失的方法、热场结构及硅晶体炉的技术资料
文档序号:38542521
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降低硅晶体炉热损失的方法、热场结构与硅晶体炉,涉及晶体硅生产技术领域,本发明通过在保温层外侧设置金属导热层,并保证金属导热层的内侧面始终与保温层接触且其外侧亮面朝向硅晶体炉的炉体内壁,金属导热层从保温层吸热后再对外辐射热量,由于该金属导热层...
该专利属于吕铁铮所有,仅供学习研究参考,未经过吕铁铮授权不得商用。
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