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一种用于光场调制的大规模高效有源超表面器件制造技术
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下载一种用于光场调制的大规模高效有源超表面器件的技术资料
文档序号:38542103
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本发明公开了一种用于光场调制的大规模高效有源超表面器件,其结构包括两种形式,分别为光开关器件和光反射器件,光开关器件包括自下而上依次排布的基底、相变材料薄膜和金属薄膜,相变材料薄膜的厚度小于基底的厚度,且大于金属薄膜的厚度;光反射器件包括自...
该专利属于成都信息工程大学所有,仅供学习研究参考,未经过成都信息工程大学授权不得商用。
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