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本发明涉及有机高分子薄膜技术领域，且公开了一种耐高温有机高分子薄膜沉积设备，包括顶板，所述顶板顶端面固定安装有裂解机构。通过安装裂解机构使得能够将原料裂解成小分子便于后续形成高分子薄膜；通过安装低温镀膜机构使得能够将裂解完成的小分子进行低温...
该专利属于派珂纳米科技（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过派珂纳米科技（苏州）有限公司授权不得商用。

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