下载一种蒸镀设备和坩埚的技术资料

文档序号:38525576

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本申请公开了一种蒸镀设备和坩埚,蒸镀设备包括:腔室底座;加热源,加热源设置在腔室底座上;至少一个坩埚存放位,坩埚存放位与热源呈中心对称地设置在腔室底座上;以及,坩埚更换装置,坩埚更换装置包括设置在腔室底座上的升降旋转组件和设置在升降旋转组件...
该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。